技术资源

离子注入高压电源多级滤波网络设计

离子注入技术是半导体制造中的关键工艺，其核心设备依赖超高压直流电源（通常达数百千伏）提供离子加速能量。此类电源的稳定性直接决定注入

静电卡盘高压电源电弧检测算法优化

静电卡盘作为半导体制造、精密仪器组装的核心部件，依赖高压电源产生的静电场实现工件的非接触式固定。然而，高压环境易引发电弧故障，轻则

离子注入高压电源的自适应脉冲调制技术：精密制造的突破性革新

在半导体制造、材料表面改性及先进医疗设备等领域，离子注入技术是调控材料性能的核心工艺。其核心挑战在于如何精确控制离子的能量、深度和

高压电源多参数协同控制在半导体蚀刻设备中的应用研究

引言在半导体制造中，等离子体蚀刻是决定器件精度的核心工艺之一。蚀刻设备的高压电源系统直接控制等离子体的密度、能量分布及反应活性，其

准分子激光高压电源气体纯度影响分析

准分子激光器（如ArF、KrF、XeCl等）依靠高压电源驱动气体放电，产生高能紫外激光束，广泛应用于半导体光刻、医疗手术、精密加工等领域。气

高精度光刻机高压电源的瞬态谐波消除技术

半导体制造的关键挑战与创新解决方案在极紫外（EUV）光刻技术主导的半导体制造中，高压电源的瞬态谐波控制直接决定光刻精度与良率。瞬态谐 

离子注入高压电源的智能梯度调节技术研究与应用

离子注入作为半导体制造的核心工艺之一，其精度直接影响器件的电学性能和良率。传统高压电源在离子注入过程中存在两大痛点：一是注入能量的

静电卡盘高压电源表面电荷监测技术及其在半导体制造中的关键作用

1 静电卡盘的工作原理与表面电荷的生成机制静电卡盘（ESC）通过高压电源在电极上施加直流电压（通常为500–4000 V），使晶片与介电

准分子激光高压电源放电延迟校正技术研究

摘要准分子激光器在半导体光刻、眼科手术等领域具有不可替代的作用，其输出脉冲的时序精度直接影响工艺质量。高压电源作为驱动核心，放电延