技术资源

电镜高压电源过压保护机制的设计与应用

高压电源是扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）的核心部件，负责提供稳定的电子束加速电压（通常达30 kV以上）。然而，电源波动

蚀刻设备高压电源负载匹配：精密工艺的核心挑战

一、负载匹配的技术原理在等离子体蚀刻设备中，高压电源通过激发反应气体形成等离子体，其中的离子在电场作用下轰击材料表面实现刻蚀。负载

准分子激光高压电源散热技术的创新与应用

准分子激光器作为紫外波段的高能脉冲光源，在光刻、医疗及精密加工领域具有不可替代的作用。然而，其高压电源在工作时产生的巨大热量（电能

高压电源在静电卡盘多通道同步中的关键技术应用

一、静电卡盘高压电源的核心作用静电卡盘（Electrostatic Chuck, ESC）是半导体制造、精密加工中的核心夹持设备，其依赖高压电源（通常为

电镜高压电源远程监控方案的设计与应用

电镜作为纳米级观测的核心设备，其高压电源的稳定性直接影响成像质量与设备寿命。传统人工巡检模式难以满足实时性要求，而基于智能传感、边

蚀刻设备高压电源自适应调节技术研究

在半导体制造中，蚀刻工艺的精度直接决定器件的性能与良率。高压电源作为蚀刻设备的核心部件，其输出特性的稳定性直接影响等离子体的离子能

准分子激光高压脉冲时序优化关键技术研究

准分子激光器作为紫外波段的核心光源，其性能直接取决于高压脉冲时序的精确控制。在光刻、精密材料加工等领域，时序偏差超过50 ns即可能导

光刻机高压电源抗干扰设计的关键技术

光刻机作为半导体制造的核心设备，其高压电源的稳定性直接决定曝光精度与芯片良率。然而，高压电源在运行时易受电磁干扰（EMI）、地线噪声

电镜高压电源低纹波优化技术研究与应用进展

高压电源的纹波控制是透射电子显微镜（TEM）性能的核心指标之一。纹波（输出电压的周期性波动）会直接影响电子束的稳定性，导致图像分辨率